產(chǎn)品特性
采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率
測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精度高
測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面
不受樣品反射率的影響
不受環(huán)境光的影響
測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理
Z方向,測(cè)量范圍大：為27mm
主要技術(shù)參數(shù)
掃描范圍：150mm×150mm(*大可選600mm*600mm)
掃描步長(zhǎng)：0.1μm
掃描速度：20mm/s
Z方向測(cè)量范圍：27mm
方向測(cè)量分辨率：2nm
產(chǎn)品應(yīng)用
MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)。
