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產(chǎn)品分類 Products
產(chǎn)品資料
產(chǎn)品[

Park Systems帕克高真空原子力顯微鏡NX-Hivac

]資料
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產(chǎn)品名稱: Park Systems帕克高真空原子力顯微鏡NX-Hivac
產(chǎn)品型號(hào): Park Systems高真空原子力顯微鏡NX-Hivac
產(chǎn)品廠商: 韓國(guó)Park Systems
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
    

Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比,高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn),因此用戶可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng),例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。 Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高精準(zhǔn)度和高分辨率測(cè)量的材料科學(xué)研究遠(yuǎn)離氧氣與其它藥劑的影響。 在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力,從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命,使掃描更加低成本和便捷,并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為精準(zhǔn)的結(jié)果。因此,利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的選擇。

Park Systems帕克高真空原子力顯微鏡NX-Hivac 的詳細(xì)介紹
核心參數(shù):
儀器種類:原子力顯微鏡
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:180mm*180mm
樣品尺寸:<500mm
定位檢測(cè)噪聲:X-Y<0.15nm RMS,Z=35pm RMS

產(chǎn)地類別:進(jìn)口儀器


Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動(dòng)控制

Hivac管理器通過(guò)一鍵單擊在邏輯和視覺(jué)上控制真空條件抽氣和排氣過(guò)程來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過(guò)程通過(guò)顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控,一鍵單擊后您即可無(wú)需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。

上等自動(dòng)化特點(diǎn)

NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之,您可以更快速地掃描,提高實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)量。

配備電控載物臺(tái)的StepScan自動(dòng)化掃描

StepScan允許用戶能夠?qū)ζ骷M(jìn)行編程從實(shí)現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描:掃描、提升懸臂、移動(dòng)電動(dòng)平臺(tái)至用戶定義坐標(biāo)區(qū)域、進(jìn)針及重復(fù)掃描。如此可提高生產(chǎn)率,減少用戶輸入。

電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)

Park電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)使用戶無(wú)需輸入即可無(wú)縫銜接自動(dòng)化測(cè)量例程。憑借著預(yù)準(zhǔn)直懸臂架,在更換探針時(shí)激光已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕,便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn),達(dá)到較好位置。

提高精度和生產(chǎn)率

NX-Hivac即是精準(zhǔn)的高性能原子力顯微鏡,同時(shí)也是用于故障分析的簡(jiǎn)單方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率,并確保取得靠譜的結(jié)果。

閉環(huán)XYZ軸掃描儀

利用兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀,您可以確信掃描的高精準(zhǔn)度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描,使得整個(gè)掃描范圍內(nèi)的離面運(yùn)動(dòng)距離低于1 nm。此外,NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀,無(wú)需進(jìn)行軟件后期處理即可獲得精準(zhǔn)的二維和三位測(cè)量。

低噪聲XYZ軸位置傳感器

NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)的低噪聲Z軸探測(cè)器功能,可準(zhǔn)確測(cè)量樣本形貌,同時(shí)低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。

24位數(shù)字電子控制器

我們的控制器為全數(shù)字、24位高速器件,用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描,包括我們的真正非接觸(True Non-Contact)模式。控制器具有低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理部件,是精密電壓和電流測(cè)量及納米級(jí)成像的較佳之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時(shí)具有數(shù)字信號(hào)處理特點(diǎn),用戶可輕松地分析測(cè)量值和成像。



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